챔버 내부에 웨이퍼 감지용 센서가 필요해서 이것저것 사용해 보았는데, 이게 생각만큼 쉽지가 않더군요. 뭐 여러가지 방식과 아이디어가 존재하는 것 같습니다. 실제 해보지 않고, 참고해서 해보려니 더욱 어려운거 같습니다. 결국은 하나씩 해보고 안되는 것을 확인하는 과정이 있어야 하더군요. ------------------------------------ 반사형 감지 방식은 일단 꽝입니다. 챔버가 금속이고, 반사되는 물질과, 진공 챔버의 특성상 투과되면서 발생하는 굴절 등이 일정한 상태를 유지하기 힘듭니다. 이것저것 해결하려면 상당한 비용이 필요합니다. 결국 포기.... -------------------------------- 직접 확인 방식. 이것은 물리적인 접촉을 감지 하는 것인데, 구동부위에 설치하게 ..

랩뷰로 프로그램을 만들어서 장시간 사용하다가 보면, 메모리 부족 현상이 발생하는 경우가 있습니다. 일반적으로 페이지 증가에 따른 메모리 부족 현상이 일반적입니다. 메모리 부족이 발생하는 원인으로는 여러가지가 있을 수 있습니다. 1. 메모리 자체의 불량 2. 메모리 자체의 부족 3. 슬럿의 이상 4. 하드 디스크 또는 SSD 디스크의 클러스터 깨짐 현상 이정도 4가지 원인을 주요 원인으로 생각해 볼 수 있을 것 같습니다. ----------------------------------------------------------------------------------- 메모리 자체의 문제나 슬럿이상은 하드웨어 문제이기 때문에 교체나 수리를 해주어야 하는 부분입니다. 하드웨어 교체 후에도 문제가 지속된다면,..

이온빔 어시스트 증착 장비, IBAD 시스템은 보통 이빔과 이온빔을 주요 부품으로 구성 합니다. 이두 주요 부품은 모두 자기장의 특성을 이용하는 특성이 있습니다. 작은 챔버안에 두가지 부품을 구성하다가 보면, 자기장의 간섭으로 인한 이상구동 현상이 발생 할 수 있습니다. 뮤 메탈을 이용하여 서로 간섭이 없게 구성해주어야 합니다. ------------------------------------------------- 서로의 자기장이 영향을 주는 경우, 양쪽 모두 문제가 발생하게 됩니다. 이빔의 경우에는 포커싱에 가장 큰 문제가 발생하게 되고, 자력이 약해지면서 빔이 멀리 뻗는 문제가 발생합니다. 이온빔의 경우에도 마찬가지로 이온의 방향이 틀어지거나, 꺼지는 문제가 발생하게 됩니다. ------------..

크라이오펌프로 챔버를 펌핑하는 경우에는 대기압부터 바로 크라이오를 이용해 펌핑을 할 수 없습니다. 일반적으로 저진공 펌프를 이용하여 적당한 진공을 만든후에, 중고진공 펌핑을 시작합니다. 크라이오를 이용하여 펌핑을 시작하는 압력은 챔버의 크기 및 챔버의 펌핑라인 구조에 따라 차이가 있습니다. 다만, 일반적인 펌핑 시작 압력은 9.00E-2 Torr 정도에서 하는 것이 이런저런 사정 보지 않고 사용하기에 적합합니다. 크라이오펌프로 펌핑을 할 때는 크라이오 펌프의 온도를 잘 살펴볼 필요가 있습니다. 보통 펌핑을 시작하면서 온도가 상승하게 되는데, 이때 온도가 50K를 넘어가 버리면 펌핑 능력을 상실 하는 경우가 많습니다. 이것은 펌프의 용량과 챔버의 크기, 컨덕턴스가 많은 영향을 줍니다. 현장에서 제가 적용 ..

공유 폴더에 접속이 안되는 문제가 발생하는 경우. 인터넷 뒤져가면서 이것저것 해보았는데, 해결이 안되더군요. 이럴때는 공유 폴더가 있는 컴퓨터에 새로운 계정을 한번 만들어서 해보는 것을 권하고 싶습니다. 몇번 이런 문제가 있었는데, 결국에는 계정 새로 만들어서 접속하면 왠만하면 되더군요. 그래도 안되는 경우에는 그냥 윈도우를 새로 까는것이 정신 건강에 좋습니다.

MKS 진공게이지 사용하는 경우가 많이 있습니다. 컨트롤러가 있는 상황이라면 설정 값 변경에 큰 문제가 없지만, 통신형을 사용하는 경우에는 명령어를 알고 있어야 설정값 변경이 가능합니다. 기본 적인 명령어중 가장 많이 변경하는 것이 setpoint 값 변경입니다. 명령어는 @253PR1;FF를 전송해주게 되면 압력값을 확인 할 수 있습니다. 다음으로 @253EN1!ON;FF를 전송해 줍니다. 이명령어는 SP1 을 활성화 합니다. 다음으로 @253SP1!5.00E-2;FF 으로 setpoint 값을 설정해줍니다. 이렇게 하면 SP1의 값을 5.00E-2 값으로 변경하게 됩니다. 보통 SP1, SP2 이런 것들은 시스템의 인터락으로 사용되기 때문에 정상적인 장비의 동작을 위해서는 올바른 값을 설정해 주어야 ..