진공 시스템을 잘 사용하다가, 칠러나 후드 등 3상 전원과 모터가 결합된 것을 연결하면서 문제가 발생하는 경우가 있습니다. 아래층에 공작 기계를 돌리면서 발생하는 경우도 있습니다. 처음 증상은 보통 정전되는 것처럼 문제가 발생합니다. 펌프가 갑자기 꺼지거나, 파워가 셧다운 되는 등의 현상이 관찰 됩니다. 그리고, PLC나 컴퓨터 등의 제어 부분에 문제가 발생합니다. 통신이 끊기는 경우도 있을 수 있습니다. 이런 문제는 그라운드에 문제가 발생하면서 발생하게 됩니다. 칠러나, 후드 같은 것들이 동작을 하며서 전원 노이즈를 발생시키는 경우라고 보면 됩니다. 해결 방법은 그라운드 구성을 따로 해주거나, 메인 전원과 그라운드의 구성을 확인해 보는 것이 좋습니다. 통상적인 필터로는 해결되지 않는 경우가 많습니다.

1. 전계 방출 특성 전압과 전류를 측정하는 장비는 아크에 대한 대비가 되어 있어야 합니다. 2. 전계 방출에 따른 온도의 상승과 그에 따른 분압의 상승에 대한 문제를 해결 해야 합니다. 3. 아크 또는 전계 방출에 따른 스퍼터링 효과 등으로 인한 전극의 박막 코팅 문제에 대한 대비가 있어야 합니다. 4. 전계 특성이 일정하게 발생하도록 샘플과 전극사이의 거리가 일정해야 합니다. 5. 샘플과 하부 전극의 접촉이 매우 좋아야 합니다. 6. 자석을 이용하여 전계의 방출 방향을 제어해 주어야 합니다.

진공장비에서는 주로 무산소동을 사용합니다. 아주 가끔 가공이 완료된후 세척을 잘못하게 되면, 구리에 얼룩이 지는 경우가 있습니다. 진공 챔버에 들어가면 확연히 눈에 들어오면서 변색이 심해집니다. 주요 원인은 가공후 기름세척을 제대로 하지 않아서 발생하는 문제입니다. 절삭유가 제거되지 않은 상태에서 크리닝 초음파를 잘못 처리하게 되면, 마치 얼룩이 지는 것처럼 구리표면에 묻어서 지워지지 않게 됩니다. 처음 가공을 한 후 절삭유 제거를 충분히 해주어야 문제가 되지 않습니다. 그다음에 세척 작업을 빠르게 해주고, 건조를 헤주면 깨끗한 구리 제품을 확인 할 수 있습니다. 절삭유가 한번 표면에 얼룩지게 되면, 그다음에는 샌딩처리를 하지 않는 이상 제거가 쉽지 않더군요. 구리 부품을 사용하는 경우에는 주의해야 겠습..

SPELL MAN 하이볼테이지 파워를 사용하게 되었습니다. 아날로그 제어를 하려다가 아크 확인이 통신으로 밖에 되지 않아서 이더넷 통신을 사용하게 되었습니다. 통신 프로그램을 사용하면서 이것 저것 사소한 문제가 계속 걸리는데요. 통신 명령어 구성은 어렵지 않게 되어 있습니다. -------------------------------------------------------------------- 다만, 이더넷 통신을 하면서, 응답속도가 맞추어 주는 것이 쉽지 않습니다. 100ms 정도로 읽고, 쓰고 파워 제어를 하고 싶은데. 이게 잘 안되더군요. 응답 지연 현상이 발생 합니다. ------------------------------------------------------------------- 파워..

물, 진공 장비와는 밀접한 관계가 있는 물질 입니다. 챔버를 이용하여 진공을 만든다는 것은, 결국 물을 배기 하는 과정이라해도 과언이 아닙니다. 장마철에는 이런 물의 관리가 매우 중요합니다. 정확하게는 습도관리라고 해주어야 겠지요. 크린룸이 구성되어 있는 환경이라면, 습도 관리가 되기때문에 크게 문제되지는 않을 것입니다. 다만, 크린룸을 구성하는 설비가 고장나는 일이 많습니다. 크린룸이 공조에 문제가 생겨서 습도 관리가 안되는 상황이라면, 챔버 벤트는 절대하면 안되겠지요. 크린룸 운영시, 공조시설에 문제가 발생했다면, 챔버 개방을 절대 하면 안됩니다. ---------------------------------------------------------------- 크린룸이 없는 실험실, 연구 시설에서 ..

CVD, 화학기상증착 장비는 박막 제조 장비로서 많이 사용됩니다. 화학적 반응을 이용하다보니, 안전상 문제가 발생하는 경우도 많이 있습니다. 특히, 사용자의 부주의나 무관심, 무지로 인해 발생하는 문제가 대부분입니다. CVD 장비를 안전하게 사용하기 위해서는 기본적으로 발화, 독성, 분진 등에대한 대비를 해야 합니다. 사용하는 물질의 정보와 특성을 잘 알고 있어야 하며, 반응으로 인해 생성되는 물질에 대한 특성과 그것에 대한 정보를 반드시 숙지하고 있어야 합니다. 작업하는 사람은 방진 마스크, 배기 장치, 보안경 등의 안전 장비를 구비하고 작업을 해야 합니다. 가장 기본적인 것이지만, 생각만으로는 지켜지지 않습니다. 행동하고, 사용 할 수 있도록 준비가 되어 있어야 합니다. CVD 장비의 챔버를 개방하는..