금을 증착하면서 이빔 소스 파워가 80%를 넘는다면 다른 방법을 찾아야 한다. 많은 문제가 발생 할 수 있지만, 가장 주의 해야하는 것은 냉각수 라인에서 발생하는 헌팅 현상이다. 냉가수라인에 심각한 문제가 발생 할 수 있다.

박막의 두께가 많거나, 진공상태가 중요한 박막 증착장비에서 많이 사용하는 것이 멀티 QCM 센서이다. 보통 듀얼센서를 사용하거나 6, 12개 짜리 멀티 센서를 사용한다. 거의 대부분의 박막은 듀얼센서로 커버가 되지만, 극단적인 두께를 사용하거나, 벤트가 용이하지 않은 시스템이라면, 6, 12개 그 이상의 센서가 필요 할 수도 있다. 듀얼 센서이상의 멀티 센서를 제어하는 경우 가장 중요한 고려 사항이 몇가지 있다. 우선은 가장 중요한 것이 센서의 교대 시간이 짧아야 한다는 점이다. 사람이 손으로 파워를 제어하면서 올리는 경우라면, 크게 문제 될 것은 없지만, 자동으로 증착 속도를 제어하는 경우라면, 센서의 교대 시간은 굉장히 큰 이슈가 된다. 센서 교대 시간은 차로 치면, 눈을 감고 운전하는 것과 다르지 ..

기본 규격. 라이너 가공시 참고

비단 음식도 설탕 대신 소금을 넣는다면, 실패한 음식이 될 수 밖에 없다. 이빔으로 박막을 제조하는 공정에서도 이러한 일이 발생 할 수 있다. 보통은 개별의 아이템에 다른 소스가 있어서 실수 할 가능성? 이 적지만, 이빔의 경우 멀티 포켓으로 똑같이 생긴 것이 돌아가는 구조여서, 의외로 사용자들이 많이 실수를 한다. 소스를 넣는 곳을 히스라고 하는데, 각각의 위치를 실수하게 되면 잘못된 소스를 넣게되고 엉뚱한 공정을 진행하게 된다. 문제는 이렇게 착각으로 인한 공정이 심각한 문제를 초래하는 경우가 발생한다는 점이다. 샘플만 망치는 것이 아니라. 장비 자체가 망가지는 일이 발생 할 수 있다. 우선은 과도한 파워로 이빔에 구멍이 나는 경우가 있다. 이런 문제는 챔버에 물이 차면서 내부 부품이 모두 손상된다...

이빔으로 니켈 증착을 많이 합니다. 이때 처음 시작은 그라파이트로 하는 것이 좋습니다. 정상적인 상태라면, 그라파이트 라이너로도 문제없이 증착이 가능합니다. 다만 그라파이트로 증착을 하면서 라이너가 달궈지는 현상이 보인다면, 라이너가 포켓에 맞지 않는 상태입니다. 이런 경우에는 니켈과 그라파이트가 늘어 붙으면서, 깨지게 됩니다. --------------------------------------------------- 라이너가 달궈지는 현상이 없고, 니켈이 라이너에 늘어붙는 현상이 없다면, 구리 라이너로 바꾸어서 사용하면 됩니다. 냉각도 좋고, 열이좀 발생한다고 해도, 늘어붙거나 하는 문제는 없습니다. 구리 라이너로 증착을 한 후 니켈 소스가 라이너와 붙지 않는다면, 정상적인 상태로 보아도 문제 없습니다.

The optional crucible liners available from Temescal increase evaporation rates by reducing heat transfer between the evaporant and the water-cooled crucible. They also allow particulate-free pocket replenishment and eliminate the risk of cross-contamination when one material replaces another in a given pocket. Liners are available in the following materials: ------------------------------------..