진공증착(10)
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PLD 증착 장비에서 무반사(AR) 코팅 퀄츠 글래스를 사용해야 하는 이유
무반사(AR) 코팅 글래스는 말그대로 반사가 되지 않도록 하는 코팅이다. PLD 장비에서 프레넬 반사에 따르면 빛의 경우 공기중에서 빛의 약 4%정도가 반사된다. 투과 되는 빛은 92%정도가 되는 것으로 알려져 있다. 레이저를 사용하는 PLD 시스템은 반사로 인해 레이저 광의 출력이 감소 되고, 레이저 유도 손상을 발생 시킬 수 있다. AR 코팅을 적용하면, 시스템의 출령량이 증가하고, 반사되는 빛이 다시 시스템 내부로 입사 되기 때문에 고스트 이미지를 생성하는 피해를 줄일 수 있다. 이것은 증착률에도 많은 영향을 주게 된다. AR 코팅 박막은 상단 및 하단 경계에서 반사되는 빔 간의 상대적 위상변이가 180도가 되도록 설계된다.
2020.12.17 -
열전도가 좋은 물질, 알루미늄 이빔으로 증착 할 때 스윕은 어떻게 해야 하는가?
이빔 시스템으로 증착을 할 때는 빔의 위치를 조절하는 것을 스윕이라고 합니다. 이빔 스윕은 빔의 위치를 조절하여, 소스 물질에 열충격을 균일하게 주어 증착 속도를 일정하게 유지하기 위한 방법 중에 하나입니다. 그러나, 모든 물질이 스윕을 필요로 하는 것은 아닙니다. 일단 잘 녹아서 덩어리로 뭉치는 물질은 스윕을 하지 않아도 잘 증착 할 수 있습니다. 알루미늄이 대표적인 물질입니다. 알루미늄은 냉각이 잘되는 히스 안에 직접 넣고 증착을 합니다. 열전도가 좋기 때문에 한덩어리로 녹아서 뭉치게 되고, 증착을 하면서 스윕을 하지 않아도 파고 드는 현상이 없습니다. 알루미늄, 구리, 실버와 같이 한 덩어리로 녹아서 뭉치는 물질은 스윕을 최대한 작게 하거나 하지 않는 것이 좋을 수도 있습니다.
2020.11.05 -
Nodule Formation on Magnetron Sputtering Targets
참고 사이트 주소 http://www.vacuumcoating.info/nodule-formation-on-magnetron-sputtering-targets Nodule Formation on Magnetron Sputtering Targets – Vacuum Coating .info – VCi Magnetron Sputtering is a technology of high importance due to a wide variety of applications in industries such as thin film photovoltaics, semiconductor, optics, decorative coating and wear and corrosion protection. It has been o..
2019.12.14 -
CVD 장비를 안전하게 사용하기 위한 대비
CVD, 화학기상증착 장비는 박막 제조 장비로서 많이 사용됩니다. 화학적 반응을 이용하다보니, 안전상 문제가 발생하는 경우도 많이 있습니다. 특히, 사용자의 부주의나 무관심, 무지로 인해 발생하는 문제가 대부분입니다. CVD 장비를 안전하게 사용하기 위해서는 기본적으로 발화, 독성, 분진 등에대한 대비를 해야 합니다. 사용하는 물질의 정보와 특성을 잘 알고 있어야 하며, 반응으로 인해 생성되는 물질에 대한 특성과 그것에 대한 정보를 반드시 숙지하고 있어야 합니다. 작업하는 사람은 방진 마스크, 배기 장치, 보안경 등의 안전 장비를 구비하고 작업을 해야 합니다. 가장 기본적인 것이지만, 생각만으로는 지켜지지 않습니다. 행동하고, 사용 할 수 있도록 준비가 되어 있어야 합니다. CVD 장비의 챔버를 개방하는..
2018.07.04