게인값과 리드값 변화에 따른 설정값과 실제값 변화 그래프 예상 스로틀 밸브를 이용한 압력 변화는 챔버 내부의 분압과 흐름이 중요하기 때문에 a 보다는 c 에 근접하도록 제어하는 것이 좋다.

반송로봇 매뉴얼 참고 매뉴얼 반송 로봇.

열배기는 알루미늄 통으로 하고, 산배기는 플라스틱 통으로 한다. ISO 타입 6인치로 구성...

CVD 장치는 작동 압력, 사용되는 에너지, 챔버의 형태 등에 따라서 제조 장비를 구분해 볼 수 있다. 1. 압력에 따라서는 보통 LPCVD, APCVD로 구분된다. 즉 진공상태에서 제조하는 장비인가 아닌가에 따라서 구분을 할 수 있다. 터보 펌프 등을 이용한 고진공 장비도 활용되나, 보통은 저진공상태에서 공정이 이루어지는 것이 일반적이다. 2. 반응 에너지에 따라서는 다음과 같이 구분해 볼 수 있다. 써멀에너지를 이용한 CVD, LPCVD나 APCVD를 보통 이것으로 구분한다. 챔버의 벽면을 함께 히팅하는가에 따라서 Hot Wall방식과 Cold Wall 방식으로 구분하기도 하지만, 보통은 공정 옵션에 따른 구분으로 보는 것이 좋다. 다음으로는 플라즈마를 이용한 PECVD, 포톤에너지를 이용한 PCVD..

핀번호는 일반 크로스 다이렉트가 아니다. 통신 설정은 다음과 같다. 정상적인 통신은 VERS\r 명령어로 버전을 확인하면 된다. 참고 매뉴얼은 다음과 같다. 파워 설정은 값_W\r가 아니라 값\sW\r로 해야 한다.

레스커 참고 사이트 https://www.lesker.com/newweb/deposition_materials/depositionmaterials_evaporationmaterials_1.cfm?pgid=ti4b Kurt J. Lesker Company Enabling Technology for a Better World www.lesker.com 써멀