증착 장비에서 대표적인 것이 써멀과 이빔이다. 써멀시스템의 경우 대용량의 빠른 속도 증착이 가능하지만 일정한 레이트 조절은 한계가 있다. 돔으로 많은 샘플을 만들 경우에도 써멀시스템이 유리하다. 반면에 이빔은 의외로 빠른속도 증착이 어려운 경우가 많다. 써멀은 소소가 녹으면서 넓게 퍼지는 반면, 이빔은 에로우 존이 좁아지면서 돔으로 구성하는 경우 균일도 확보가 다소 어렵다. 이때 가장 중요한 것은 에로우 존은 최대 30도 정도로 생각하고 돔을 구성해야 한다. 소스와 돔의 거리가 중요한데, 이때 돔의 크기가 소스에서 30도 안에 들어오도록 구성해 주어야 균일도가 틀어지지 않는다.(경험상 450mm 32도가 최대이다.) 그리고, 거리가 멀어지면(증기압, 민프리패스의 영향 등) 급속도로 균일도가 감소한다. 균..

이빔 증착기는 써멀, 스퍼터와 함께 가장 기본적인 증착기 중에 하나이다. 주로 금속박막을 제조하는데 사용되며, 간단한 구성에 효율 좋은 박막을 얻을 수 있다. 기구물이 스퍼터나 써멀에 비해 간단하고, 여러 물질을 증착 가능하기 때문에 잔고장이 적고 매우 효율적이라 할 수 있다. 이빔 증착기에서 가장 많이 발생하는 문제는 주로 아크로 인한 피드쓰루와 파워 서플라이 데미지, 그리고 필라멘트의 손상이다. 그 중에서 필라멘트의 손상은 주로 챔버 벤트와 같은 급격한 냉각으로 발생하기 때문에, 챔버 벤트전에 시간만 충분히 주어도 문제를 예방 할 수 있다. 피드쓰루나 파워의 손상은 고전압으로 인한 문제가 주요 원인이기 때문에, 사용 방법에 따라서 문제를 방지하는 것이 어려울 수 있으나, 필라멘트의 손상은 벤트만 잘해..

반도체 공정에서 특히 CVD같은 증착 장비와 에칭 장비는 안좋은 가스를 많이 사용합니다. 가장 중요한 것은 안전이겠지요. 자신이 사용하는 가스의 특성과 위험정도는 숙지 하고 있어야 된다고 생각합니다. 도움이 되었으면 좋겠습니다. 참고파일 1 참고파일 2 참고파일3 참고사이트 1 https://www.kgu.or.kr/dict/info5 한국가스연맹 한국가스연맹 소개, 회원사 및 유관 기관, 주요사업, 게시판 및 자료실 운영 등 안내. kgu.or.kr 가스의 분류

TROUBLESHOOTING 1. 파워서플라이. 이온 소스 시스템이 작동하지 않으면 파워서플라이, 이온 소스또는 기타 컴포넌트 결함이 있는지 명확하지 않은 경우가 많습니다. 파워서플라이가 문제로 의심되는 경우 이온 소스는 일반적으로 작동 압력(operating pressure)까지 펌핑되는 진공 챔버 내에 있습니다. 문제 해결은 배큠챔버를 대기 (atmosphere)로 배출하여 수행할 수 있지만 작동 압력 (operating pressure)으로 다시 펌핑하는 데 상당한 시간이 소요됩니다. 가장 좋은 순서는 환기 없이 최소한 초기 문제 해결을 수행하는 것입니다. 이온 소스 내에서 반응성 가스가 사용되는 경우 anode에 절연 코팅이 생성될 수있습니다. 이 절연 코팅은 일반적으로 실행 중에는 문제가 되지 ..

두껍게 쌓아야 하는 박막이 있어서, 멀티 센서를 사용해 보기로 했습니다. 선택한 제품은 인피콘의 6개짜리 QCM 센서 해드입니다. 전에 모터 타입의 타사 제품을 사용해 보았는데, 모터타입은 실패작이었습니다. 우선 구조물이 너무 복잡하고, 얼라인이 틀어지면서 잔고장이 많더군요. 그래서, 이번에는 기계적인 간단한 공압구조를 사용해보기로 했습니다. 이제품에 사용가능 한 컨트롤러와 모니터는 크게 2종류로 구분 되어있습니다. QCM의 위치를 확인 가능한 것과 불가능 한것? 그런데, 센서로 위치를 확인 하는 것은 아닌것 같습니다. 어떻게 하는 것인지 잘 모르겠습니다. 연구를 좀 해봐야 하지 않을까 생각됩니다. 가이드 라인에 따라서 컨트롤러 또는 모니터를 연결합니다. 다음으로, 센서를 설치 할 때는 위치에 신경 써야..

금을 증착하면서 이빔 소스 파워가 80%를 넘는다면 다른 방법을 찾아야 한다. 많은 문제가 발생 할 수 있지만, 가장 주의 해야하는 것은 냉각수 라인에서 발생하는 헌팅 현상이다. 냉가수라인에 심각한 문제가 발생 할 수 있다.