CVD 장치는 작동 압력, 사용되는 에너지, 챔버의 형태 등에 따라서 제조 장비를 구분해 볼 수 있다. 1. 압력에 따라서는 보통 LPCVD, APCVD로 구분된다. 즉 진공상태에서 제조하는 장비인가 아닌가에 따라서 구분을 할 수 있다. 터보 펌프 등을 이용한 고진공 장비도 활용되나, 보통은 저진공상태에서 공정이 이루어지는 것이 일반적이다. 2. 반응 에너지에 따라서는 다음과 같이 구분해 볼 수 있다. 써멀에너지를 이용한 CVD, LPCVD나 APCVD를 보통 이것으로 구분한다. 챔버의 벽면을 함께 히팅하는가에 따라서 Hot Wall방식과 Cold Wall 방식으로 구분하기도 하지만, 보통은 공정 옵션에 따른 구분으로 보는 것이 좋다. 다음으로는 플라즈마를 이용한 PECVD, 포톤에너지를 이용한 PCVD..

핀번호는 일반 크로스 다이렉트가 아니다. 통신 설정은 다음과 같다. 정상적인 통신은 VERS\r 명령어로 버전을 확인하면 된다. 참고 매뉴얼은 다음과 같다. 파워 설정은 값_W\r가 아니라 값\sW\r로 해야 한다.

레스커 참고 사이트 https://www.lesker.com/newweb/deposition_materials/depositionmaterials_evaporationmaterials_1.cfm?pgid=ti4b Kurt J. Lesker Company Enabling Technology for a Better World www.lesker.com 써멀

일반 DC 파워를 상승 - 유지 -하락 제어 하고 싶은 경우 참고 파일

날이 추워지자 차에서 또 이상한 소리가 나기 시작한다. 특히 방지턱을 넘을때 소리가 크게 나기 시작했다. 날이 추워지면서 소리는 점점더 커지기 시작했다. "삐그덕, 삐그덕" 아이들 삑삑소리나는 것같은 그런 비슷한 소리였다. "뭐지?" 상당히 거슬리는 소리이고, 앞바퀴가 방지턱을 넘을 때 나는 소리였다." "이거 또 돈달라는 소리같은데?" 돈 나갈 생각을 하니, 걱정 부터 되었다. "얼마나 나갈까?" 인터넷을 뒤지기 시작했다. 과연 어떤 부품을 갈아야 하는 것인가? 찾아보니, 로드암부시를 교체할 때가 되면 이런 소리가 나는 것 같았다. 교체 비용은 대략 20만원 정도? 실제 가보면 대충 50만원은 나올 것 같았다. 그렇게 시간을 보내고, 예약을 하고 가보니, 오일도 갈아야 하고, 워셔액 펌프도 맛이 가고...

레스커 참고자료 https://www.lesker.com/newweb/deposition_materials/depositionmaterials_evaporationmaterials_1.cfm?pgid=ag2 Kurt J. Lesker Company Enabling Technology for a Better World www.lesker.com