참고 사이트 http://www.ptsc.co.kr/korean/3_1_product_rf_generator.php PTS 제품 설명 반도체/LCD/Solar cell 등의 제조 및 가공 공정의 핵심인 플라즈마 발생을 위한 RF Generator. 선택된 주파수와 원하는 파워레벨의 고주파 파형을 챔버에 전달합니다. 제품 특징 1.다양항 주파 www.ptsc.co.kr

참고 매뉴얼 주로 엑셀레이터 그리드에 재증착이나 에칭 등으로 발생한 파티클로 인해 쇼트가 발생하게 된다. 자주 청소를 해주어야 하는데, 분해 청소를 해주면 좋지만, 청소기로 자주 청소만 해주어도 라이프타임은 충분히 증가한다.

요즘에 하도 게이지 수급이 어려워서, 재고 있는것 막 가져다 사용하니 계속 게이지 제어 방식이 바뀝니다. 나중에 어떻게 대처해야 할지... 이번 선택은 인피콘 PGE300 매뉴얼 참고

참고파일, 사이트 https://www.scia-systems.com/products/e-beam-evaporation/scia-eva-200 scia Eva 200 Glancing Angle Deposition for Precise Nanostructures With the scia Eva 200 ultra-pure coatings can be deposited on up to 200 mm wafers by electron beam (e-beam) evaporation. The system enables up to 12 target materials in crucible-pockets and can be config www.scia-systems.com http://koreavac.com/sub/pro..

매뉴얼 참고 자료 MDC 이빔 시스템