알루미늄이나 구리 같은 것을 스퍼터링 하다보면 뿌옇게 나오거나 변색되는 경우가 있다. 이런 경우에는 스퍼터링 되면서 발생하는 온도 요소와 산소와의 반응으로 인해 변색되거나 뿌옇게 나온다. 온도요소를 줄여야 하는데, 순간 엄청나게 빠른 속도로 증착하거나, 공정 파워를 낮추어서 여러 건으로 증착을 하거나, 히터 사용을 하지 않는 것이 좋다.

참고 자료 골드, 실버, Alloy로 구분 된다. 라이프타임이 긴 골드.

진공부품 참고 자료 1

부품 참고 자료 한쪽은 회전플렌지로 만들어야 상품으로 가치가 있다. 참고자료

이온빔 소스를 사용하면서 가스 종류에 따라서 Reflector의 재질을 선택해야 한다. 산소나 리엑티브 가스를 사용하는 경우에는 그라파이트가 적합하지 않다.

이거 예전에 많이 썼는데, 매뉴얼이 안보이네요.